景深是指工作距離的一定范圍，在該范圍內(nèi)，圖像的清晰度可以接受。理想的工作距離將在聚焦后呈現(xiàn)Z佳分辨率。

然而，有些情況下，例如，在觀察較高樣品時，分辨率變得不太重要，反而景深對結(jié)果的影響更大。對昆蟲進行成像時，關鍵是要讓畫面中的所有特征都清晰可辨，比如它的腿和頭。對電子線路連接成像也是如此，完整觀察樣品需要在同一圖像中聚焦整個電線和電路板。在這種情況下，較長的工作距離有助于獲得更大的景深，得到更多細節(jié)清晰可見的圖像。

樣品越靠近鏡筒，電子束角度越大。這意味著與焦平面的微小偏差將導致電子束直徑不斷增大，從而使得圖像更加模糊。

反之，樣品距離鏡筒越遠，電子束角度越小，與焦平面高度的偏差所導致的電子束直徑變化也就越小，因此，可以清晰地觀察到不同高度處的所有特征物。

通常，掃描電子顯微鏡的景深可以從幾微米增加到幾毫米，通過調(diào)整景深，可以對需要重點關注的特征進行深入觀察，獲得高質(zhì)量的圖像從而取得Z佳的分析結(jié)果。