（一）光切法顯微鏡可用測微目鏡測出表面平面度平均高度值RZ

　　在測量時，所測量的表面范圍不少于五個波峰。

　　為使測量能正確迅速地進行，要求按表1內所列的數據選擇物鏡。

　　（二）被檢工作物的安放和顯微鏡調焦

　　1．被檢工件放在工作臺上時，測量表面之加工紋路應與顯微鏡光軸平面平行，即與狹縫像垂直。并使測量表面平行于工作臺平面（準確到1°）；對于圓柱形或錐形工件可放在工作臺上之V型塊上。

　　2．選擇適當的物鏡插在滑板上，拆下物鏡時應先按下手柄，插入所需的物鏡后，放松手柄即可。

　　3．接通電源變壓器和照明燈連線，調整粗調手輪和微調手輪調焦在測量平面上，使視場中出現*清晰的狹縫像和表面輪廓像。如果狹縫邊緣像（下面邊）與表面輪廓像不能同時調清晰時，可稍稍轉動手輪。一般情況下，請不要轉動它。

　　4．旋松測微目鏡之固緊螺釘，轉動測微目鏡使其中十字線處于水平，并用螺釘把它固定在這個位置上，此時目鏡內分劃板運動方向與狹縫像成45°角度。在這以后，就可以進行表面輪廓平面度的測量工作。

　　注意：為了正確地對圓柱體進行測量工作，必須同時調整工作臺和顯微鏡，使顯微鏡精確地調焦在圓柱頂端母線上。為此，需使工作臺垂直于圓柱體軸線移動（平行于加工條紋移動），必要時，對顯微鏡需重新調焦。

　　（三）輪廓平面度的測量

　　為測量表面輪廓平面度，需使狹縫平行的分劃水平線與狹縫清晰邊緣（下面邊）*高點相切。然后記上在目鏡分劃板與測微鼓上的讀數，再使十字線的 水平線與狹縫隙清晰邊緣*低點相切，第二次記下分劃板與鼓輪的讀數。

　　（四）帶輔助物鏡的物鏡放大倍數

　　為了確定物鏡放大倍數V，在進行輪廓平面測量時需對儀器備有0.01mm的標準刻度尺進行測量。首先將標準刻度尺放在儀器的工作臺上，調整標準刻度尺刻線清晰地成像在目鏡視場中，并且使其刻線和狹縫像垂直，分劃板十字線的運動方向與狹縫像平行。然后將分劃板十字線交點對準標準刻尺的一端，按測微目鏡的分劃板與測微鼓進行**次讀數。把十字線交點移到標準刻度尺的另一端，再以同法進行第二次讀數。此時，測微目鏡的兩次讀數差與標準刻度尺選擇段刻度數之比，就是顯微鏡物鏡的放大倍數V。

　　（五）表面顯微輪廓的攝像

　　為了能在光切法顯微鏡上對顯微輪廓進行攝像，儀器上可安裝數碼攝像裝置（需另購適配鏡和數碼相機）。攝像時，根據上述（二）的方法，在目鏡中得出清晰的像后，轉動手輪到攝像部位，然后參照數碼相機的使用說明書進行操作、調焦，直至數碼相機視屏中圖像輪廓清晰，線條分明。